实点科技C3阀岛在真空镀膜设备上的应用

真空镀膜（PVD/PECVD/磁控溅射）设备是光学元件、消费电子结构件、装饰五金、硬质涂层刀具等下游产品的关键工艺装备，需在高真空环境下完成薄膜沉积，对工艺气体的精确通断、真空腔体的可靠隔离与动作节拍的同步响应有较高要求。阀岛正成为该类设备气动控制的主流选择。本期案例以真空镀膜设备为对象，展现实点科技C3系列阀岛的应用实践。

本期案例使用的实点科技产品

C3系列阀岛

一、设备介绍

真空镀膜设备在真空环境下完成金属膜、介质膜等功能薄膜的沉积，覆盖磁控溅射、蒸发、离子镀、PECVD 等多种工艺路线。设备内部集成了大量气动执行元件，按功能可归纳为三类：

这些气动执行元件均由电磁阀驱动——气控阀与气缸越多，所需的电磁阀点位就越多，单台设备往往需要数十个电磁阀。

二、实点科技解决方案

真空镀膜工艺对气体通断的精确性、腔体隔离的可靠性与多路气路的协同响应有较高要求，执行元件数量多、分布集中，工艺气体控制与真空腔体控制需要统一管理。方案采用2套实点科技C3系列阀岛（PROFINET协议），分别部署于工艺气体区域与真空腔体区域，将两类气动执行元件纳入集中控制，阀岛安装于设备本体，信号经PROFINET总线接入PLC。

三、方案构架

控制层：

西门子 S7-1500 PLC作为核心控制器，通过PROFINET总线统一管理2套阀岛。

网络层：

2套C3阀岛分别安装于工艺气体区域与真空腔体区域，各以PROFINET接入PLC，单总线管理，网络结构清晰。

现场层：

每套阀岛独立驱动对应区域的气动执行元件，阀位与控制对象一一对应，如下——

阀岛气嘴规格支持灵活定制（如本案由φ6调整为φ8），便于对接不同流量的执行元件。

四、应用效果

五、实点科技C3系列阀岛

实点科技C3阀岛最多支持24位双电控电磁阀配置，IP65防护等级；自有品牌电磁阀，寿命大于5000万次，低功耗设计，支持在线固件升级。气嘴规格、阀位类型可按现场工艺需求灵活配置，整岛适配PROFINET/EtherCAT/EtherNet/IP等主流工业总线协议，广泛应用于真空镀膜、光学镀膜、硬质涂层、3C电子、锂电、半导体、新能源等高节拍、高可靠要求场景。